北方华创取得工艺舟以及半导体热处理设备专利有效降低晶圆与支撑结构发生粘连的可能
金融界2025年7月26日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“工艺舟以及半导体热处理设备”的专利,授权公告号CN223155994U,申请日期为2024年04月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种工艺舟以及半导体热处理设备。其中,工艺舟包括舟体;舟体内部具有沿轴向分布的多层承载位,用以承载晶圆;每层承载位均包括至少三个支撑结构;每个支撑结构均包括支撑件和自支撑件上表面凸出的支撑凸起,支撑凸起用于支撑晶圆;支撑凸起的顶面为水平方向延伸的平面,或向上凸起的曲面;或者,每个支撑结构均包括支撑件;支撑件上表面开设有凹陷部;支撑件的上表面用于支撑晶圆;支撑件的上表面为水平方向延伸的平面,或向上凸起的曲面。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1096次,财产线条,此外企业还拥有行政许可340个。
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